AlGaN材料XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
Jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是,可以通过Jade计算出物相的衍射强度,进而进行物相质量分数的计算。但是,在计算过程中,有几个问题值得注意
衍射强度的表示问题
物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过Jade可以得到4种物相衍射强度的数据:寻峰峰高、寻峰面积;拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是:面积=峰高*FWHM。
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一般来说,在强度表示中,有3个主要的问题:
(1) 通过寻峰操作得到的峰高和面积数据有时很准确,但是,若衍射谱中存在重叠峰则会使计算值偏高。
(2) 拟合面积较为准确,AlGaN材料XRD检测平台,可解决重叠峰的问题,但拟合峰高一般有偏差。
(3) 当物相的晶粒度不同时,用峰高还是用面积来表示强度并不等价,它们受衍射峰宽度的影响。
实际操作中,通常分别使用4种强度数据进行计算,AlGaN材料XRD检测分析,再将计算结果作平均,可得到较为理想的结果。但是,如果重叠峰特别多时,可只选用拟合数据,而当样品中无重叠时,使用寻峰数据计算反而会。
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PDF卡片库中有4个主要的数据库子库,即:Inorganic, ICSD Patterns, Minerals和ICSD Minerals。对于一般的样品,通常只需要选择这4个数据库就完全可以检索出全部物相。特别是当样品为天然矿物时,应当只选择矿物库的两个子库:ICSD Patterns, Minerals。否则,多选的数据库会对矿物物相分析带来困难。还有一点值得注意:ICSD(国际晶体学数据库)在物相检索中非常重要,因为很多新的物相在其它三个库中很难找到。我们应当注意的是,AlGaN材料XRD检测哪里可以做,选择不同的数据库可能会得出不同的结果,数据库选择不合适时,可能会导致某些物相检索不出。
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