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广东省科学院半导体研究所

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广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省**批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

XRD薄膜检测哪里可以做-半导体XRD薄膜测试

产品编号:100053223795                    更新时间:2023-08-22
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广东省科学院半导体研究所

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XRD薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

XRD即X-ray diffraction(X射线衍射)的缩写,是研究晶体物质和某些非晶态物质微观结构的有效方法,也是科研人常用的材料表征方法之一。通过对材料进行X射线衍射,不但可测定材料的物相和晶体结构,还可以进行单晶分析、结构分析、测定微晶尺寸、宏观及微观应力等。XRD的应用范围非常广泛,现已渗透到物理、化学、地球科学、材料科学以及各种工程技术科学中,XRD薄膜检测价格,成为一种重要的实验方法和结构分析手段,具有无损试样的优点。为了让各位小伙伴了解 XRD 的分析方法和应用,我们在此倾心整理并推出“XRD全家福”,内容包括XRD理论篇、制样篇、操作篇、软件篇、分析篇和干货篇,共6部分。为广大读者奉上全的XRD经典课件、工具书、视频课程、制样流程、上机操作、分析软件、干货教程等,助你快速成为XRD达人。

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由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备,所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和,非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即Xc=PIc;Xa=QIa

则:Xc=Ic(Ic+kIa)X100%

【注意:Ic为晶体部分的衍射积分强度,Ia为非晶部分的衍射积分强度。K=Q/P,是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子】

由上式已知,若温度K也已知,则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言,K是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出K值,从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将K值取1则Xc=Ic/(Ic+Ia),即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确,但对试样也存在择优取向,且同晶相合非晶相的化学成分也相同,XRD薄膜检测实验室,可认为,该法有比较意义。其实,得到结晶性相当麻烦,青海XRD薄膜检测,所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律:2d sinθ=nλ

【注意:λ为X guang线的长度,n则为的正整数,即衍射级数】


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X射线衍射仪(XRD)相关术语解释

能量分辨

是指检测器接收某一能量的(某一波长射线的光),所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。

闪烁检测器是各种晶体X射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是:对于晶体X射线衍射使用的X射线均具有很高甚至达到100%的效率;使用寿命长,稳定性好;此外,它和PC一样,具有很短的分辨时间(10-7秒数量级),因而实际上不必考虑由于检测器本身的限制所带来的计数损失;它和PC一样,对晶体衍射工作使用的软X射线也有一定的能量分辨本领。因此通常X射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。





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