1、热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
2、电离真空计
由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
3、复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。
4、冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

当水减少,其工作效率就会降低,就会增加能耗,增加运行成本。工作液的作用,不仅仅是用于抽取气体的而且还有降低泵体温度的作用。工作液低于正常水平很多,会使泵体的发热量增加,会减少泵的耐久度,增加维护成本。所以水环真空泵在运转的时候一定要保持工作液正常水平,这样有利于泵的正常工作,也有利于维护和减少开支。工作液可以看作是它工作的动力,若是动力没有了,真空泵还拿什么去拼搏呢,因此,我们平时不要吝啬,要不时的分给它们一些水,这样才可以正常运行。
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1、电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。
2、麦克劳真空计
也成为压缩式真空计,将待测的气体用(或油)压缩到一体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种真空计。
3、电容薄膜真空计
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中,测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。
电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点,因而越来越受到人们的重视。以它取代压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。
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