目前已推出的化学过滤器主要是:
a.活性炭过滤器,大多数是晶粒状的,有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器,具有吸附速度快的特点,价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝,但主要是活性炭)以吸附AMC物质。
至今,据报道,φ300mm园片加工除二条试验生产线外,已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转,对AMC的控制情况,当然不详,但洁净室环境为ISO5~6级,对洁净室设计较简单些。可以看到,今后IC生产,其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
地坪保养 施工结束,把现场交给客户时,应向客户提醒如下保养及维护方法,以便能保持地面良好的质量状态。
1、日常清扫可用柔软扫帚或抹布清洁,无菌洁净室,车间内大面积清洗地面时,不要用强化学溶剂(香蕉水等)。一般使用洗涤剂、肥皂液、清水等,用清洗机进行。在没有清洗机的情况下,可用锯木粉撤上后再清扫干净。
2、严重污垢时,使用中性清洁剂,用抹布水洗,然后用水清洗、充分干燥,打一层薄蜡。
3、地面溅溢有酸、碱等化学药品时,洁净室报价,应及时用水清洗,如果是调味料、油等则用抹布擦试即可。
4、光滑的涂层可用亮光蜡定期保养,永葆美观。
5、当该涂料施工完毕后,在保养期内切匆使用,洁净室,并须加强通风设备及防火措施。
6、地坪使用,生产人员不准穿有铁钉的皮鞋在上面行走。
7、一切工作器具都须有固定车架安放,严禁带有锐角的金属零件等物件碰撞地面,造成地面涂料损坏。
8、车间内安装设备等重大物件须用起重机械时,在接触地面的支撑点应有厚橡皮等软件材料垫妥,严禁用铁管等金属在地面上接拖设备。
9、车间内进行电焊等高温作业时,在电焊火花飞溅到的地方应用石棉布等耐火材料辅垫好,以防烧坏涂料。
10、 一旦地坪有损坏,及时使用涂料修补,以免油污通过损坏处渗透到水泥里,造成大面积涂料脱落。
无尘车间工程厂家多角度分析FFU的选择
1)FFU机组内的高1效过滤器的初阻力均不相同,大约在120—150Pa之间。
2)当高1效过滤器为初阻力,且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时,不同FFU的机外余压均在100Pa左右,有的高达130Pa。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,洁净室设备,各机组的机外余压,都能在60Pa以上。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
3)FFU的声压级噪声大多在57dB(A)~59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。
4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有个别品牌的能耗大,高达350W是一般能耗的一倍。
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