原子力显微镜是一种扫描探针显微镜（SPM），其中探针跟随材料表面，以检测探针和材料之间的原子力，从而生成材料表面的图像。与光学显微镜相比，SLD，扫描探针显微镜具有极高的空间分辨率，能够在原子水平上检查表面轮廓。此外，原子力显微镜是一种扫描探针显微镜，能够测量绝缘材料。
通过将SLD发出的光发射到带有探针的悬臂梁的后侧，并使用位置传感器检查反射的激光，可以更好的地检查探针的移动，从而以纳米级的精度观察物质表面。
超辐射光源SLD就是加的电流比较高的LED，所以SLD有时候也叫做SLED。
SLD的是三个主要参数是功率、光谱范围与光谱调制深度。解释一下光谱调制深度，光谱调制深度是由于腔面不可完全去除的反射引起的谐振，可以根据公式看出增益是与光子本身的频率有周期性关系的。光谱调制深度的公式，可以看出是与SLD两端反射面的反射率有关，这里R1=R2=R。，当R=0时，调制深度就变为0，调制深度越小越好，在光谱上表现为纹波。
光纤传感器的原理
光纤传感器由光源、入射光纤、出射光纤、光调制器、光探测器及解调器组成。其基本原理是将光源的光经入射光纤送入调制区，光在调制区内与外界被测参数相互作用，使光的光学性质( 如强度、波长、频率、相位、偏振态等) 发生化学变化而成为被调制的信号光，再经出射光纤送入光探测器、解调器而获得被测参数。
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