压电纳米大行程移动台-北京微纳光科-压电纳米大行程移动台厂家

纳米定位台

纳米定位平台使用能够了精密的滚珠导向系统确保了位移平台高精度性能和严格的轨迹控制。它具有较低抛面和较小尺寸，采用模块化设计，压电纳米大行程移动台，用户可堆叠使用创建多轴多部件系统。

这款纳米定位平台使用了非接触式直接驱动技术，提供坚固，高速的定位，满足高频率大工作量的需要。纳米定位平台使用了的无铁直线电机直接确定技术，确保异的纳米级定位性能。

纳米定位台如何满足纳米调节使用？　

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性的功能之IC产品。要求较高的不仅是我们想象的要在豌豆大小的面积上集成上以百万计的电子元器件，另外对于生产好的晶圆进行切割（分离）也是一项难题，然而切割技术的不成熟造成了50%以上的浪费，所以提高晶圆切割技术水平很是必要。

根据纳米定位台的Z轴大量程移动范围，高刚度的保证，微秒级的动态响应时间，超小的迟滞，压电纳米大行程移动台厂家，稳定工作负载都符合行业领域指标。

纳米定位台使用新双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有精良的动态性能和精度。纳米定位平台提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。

纳米定位台原理

纳米定位台其实主要由两大部件组成，压电纳米大行程移动台公司，部分是一个电容传感器（原因：电容传感器分辨率很高），第二部分就是一个柔性导轨（主要作用是使运动平滑）。

应用应该主要是用在 显微镜  磁头  探针这些超高精密应用上。纳米位移台是一种机械装置，内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。制造的纳米位移台使用柔性铰链技术将运动装置链接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器，闭环控制时，传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别，亚纳米级别的分辨率。