该方法的主要优点是可以用很少的步骤合成极其大量的探针阵列。例如，合成 48 （ 65536 ） 个探针的 8 聚体寡核苷酸序列仅需 4 × 8=32 步操作， 8 小时就可以完成。而如果用传统方法合成然后点样，那么工作量的巨大将是不可思议的。同时，用该方法合成的探针阵列密度可高达到 106/cm2 。不过，替代肖特玻片产品，尽管该方法看来比较简单，实际上并非如此。
基因芯片（genechip）（又称DNA芯片、生物芯片）的原型是80年代中期提出的。基因芯片的测序原理是杂交测序方法，即通过与一组已知序列的核酸探针杂交进行核酸序列测定的方法，什么是替代肖特玻片，在一块基片表面固定了序列已知的靶核苷酸的探针。当溶液中带有荧光标记的核酸序列TATGCAATCTAG，与基因芯片上对应位置的核酸探针产生互补匹配时，通过确定荧光强度强的探针位置，替代肖特玻片厂家，获得一组序列完全互补的探针序列。据此可重组出靶核酸的序列。
微阵列生物芯片是在硅片、玻璃、凝胶或尼龙膜等基体上，替代肖特玻片，通过机器人自动打印或应用光引导化学合成技术固定的生物分子微阵列及其基体的总和。生物芯片根据分子间特异性相互作用的原理，将生命科学领域中不连续的分析过程集成于芯片表面，构造微流体生物化学分析系统，以实现对DNA、细胞、蛋白质和其他生物组分的准确、快速、大信息量的检测。
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