原位合成法主要为光引导聚合技术，它不仅可用于寡聚核苷酸的合成，也可用于合成寡肽分子。光引导聚合技术是照相平板印刷技术（ photolithography ）与传统的核酸、多肽固相合成技术相结合的产物。半导体技术中曾使用照相平板技术法在半导体硅片上制作微型电子线路。固相合成技术是当前多肽、核酸人工合成中普遍使用的方法，技术成熟且已实现自动化。二者的结合为合成高密度核酸探针及短肽阵列提供了一条快捷的途径。
主要原因是，合成反应每步产率比较低，不到 95% 。而通常固相合成反应每步的产率在 99% 以上。因此，探针的长度受到了限制。而且由于每步去保护不很，致使杂交信号比较模糊，信噪比降低。为此有人将光引导合成技术与半异体工业所用的光敏抗蚀技术相结合，aminosilane是什么，以酸作为去保护剂，使每步产率增加到 98% 。原因是光敏抗蚀剂的解离对照度的依赖是非线性的，当照度达到特定的阈值以上保护剂就会解离。所以，aminosilane产品，该方法同时也解决了由于蔽光膜透光孔间距离缩小而基因芯片引起的光衍射问题，aminosilane原理，有效地提高了聚合点阵的密度。另据报导 ，利用波长更短的物质波如电子射线去除保护可使点阵密度达到 1010/cm2 。
微阵列生物芯片是在硅片、玻璃、凝胶或尼龙膜等基体上，台湾aminosilane，通过机器人自动打印或应用光引导化学合成技术固定的生物分子微阵列及其基体的总和。生物芯片根据分子间特异性相互作用的原理，将生命科学领域中不连续的分析过程集成于芯片表面，构造微流体生物化学分析系统，以实现对DNA、细胞、蛋白质和其他生物组分的准确、快速、大信息量的检测。
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