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激光切割加工光束聚焦工件位置的原理
精密切割中,对切口宽度有相当严格的要求,用于微0电子工业的精密切割尤.为突.出。以硅的划片为例,在一块硅片上制作了大量组件,不同组件之间的距离约为100um,那么,超过或达到100um的切口固然会毁坏元件,即使是接近一百微米的切口,也会因热扩散等作用而严重影响半导体组件的功能。所以,社旗激光切割,如果要求切口和两边组件的距离均为30-40um时,则切口宽度便不得超过20~30um。为了获得窄的切口宽度,不但需要激光束聚焦光斑尽量小,而且需要以yi定的工件位置予以适当配合,使切口宽度符合加工要求。
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在激光应用过程中,常常碰到聚焦等问题,常见确定焦点位置的简便方法有三种:
(1)打印法:使切割从上往下运动,在塑料板上进行激光束打印,打印直径较小处为焦点。
(2)斜板法:用和垂直轴成一角度斜放的塑料板使其水平拉动,寻找激光束的较小处为焦点。
(3)蓝色火花法:去掉喷嘴,吹空气,激光切割加工,将脉冲激光打在不锈钢板上,使切割从上往下运动,直至蓝色火花较大处为焦点。
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激光切割机在使用之前工作人员需要保证激光管充满循环水,并且循环水的水质和水温是直接影响着激光管的使用寿命的,所以说对于循环水的更换和水箱的清洗时必须要重视的,一个星期左右进行一次。
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