按单晶生长方法划分：直拉法制各的单晶硅，称为CZ硅(片);磁控直拉法制各的单晶硅，称为MCZ硅(片);悬浮区熔法制各的单晶硅，称为FZ硅(片);用外延法在单晶硅或其他单晶衬底上生长硅外延层，称为外延(硅片)。
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易于维护性，线锯在切割之间需要更换切割线和研磨浆，维护的速度越快，总体的生产力就越高。
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