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真空蒸发镀工艺流程

工件>镀前处理>装件>烘烤>离子轰击>预熔>蒸发沉积>冷却>取件>后处理>成品

真空溅射镀工艺流程

工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤、轰击>预熔>溅射沉积>冷却>取件>后处理>成品

真空离子镀工艺流程

工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤>离子轰击>离子沉积>冷却>取件>后处理>成品

对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至z小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，耳机配件真空电镀哪里好，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，娄底耳机配件真空电镀，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1.蒸发源水路胶罔损环(更换胶罔)

2.坩埚被打穿(更换坩埚)

3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

4.工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

6、高阀突然关闭可能是=位五通阀损坏(更换二位五通阀)

7.机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶罔)

9.挡板动密封处胶固损坏(更换胶园)

10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

真空电镀工艺可能遇到的问题及对策

3.真空室内残余气体压力对膜层的影响

真空室内残余气体的压力对膜性能的影响较大。压力过高残余气体分子不但已与蒸发粒子碰撞使其入射到基片上的动能减小影响膜的附着力。而且，耳机配件真空电镀报价，过高的残余气体压力还会严重影响膜的纯度，耳机配件真空电镀哪家好，使涂层的性能降低。

4.蒸发温度对蒸发涂层的影响

蒸发温度对膜性能的影响是通过蒸发速率随温度变化而表现出来。当蒸发温度高时，汽化热将减小。如果膜材在蒸发温度以上进行蒸发时，即使是温度稍有微小的变化，也可以引发膜材蒸发速率的急剧变化。因此，在薄膜的沉积过程中采取准确的控制蒸发温度，避免在蒸发源加热时产生大的温度梯度，对于易于升华的膜材选用膜材本身为加热器，进行蒸镀等措施也是非常重要的。

5.基体与镀膜室的清洁状态对涂层性能的影响

基体与镀膜室的清洁程度对涂层的性能影响是不可忽略的。它不仅会严重影响沉积膜的纯度，而且也会减小膜的附着力。因此对基体的净化对真空镀膜室及室内的有关构件（如基片架）进行清洁处理和表面去气均是真空镀膜工艺过程中不可缺少的过程。