
一种曝光及显影设备,包括: 边缘曝光装置,用于对基板的边缘进行曝光; 显影装置,用于对曝光后的基板进行显影,该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处; 其中,该基板在被输送至该显影装置的过程中,被该边缘曝光装置进行边缘曝光。如权利要求2所述的曝光及显影设备,其中,该驱动装置包括伺服马达、丝杠、螺母及螺母座,该丝杠与该伺服马达的输出端连接,当该伺服马达启动时,该丝杠旋转,连接于该丝杠的螺母在该丝杠上直线运动,进而带动固定于该螺母上的螺母座直线运动,圆弧面曝光显影加工厂,该边缘曝光机和CXD影像处理器设置于该螺母座上。
该曝光及显影设备包括两组边缘曝光装置,其对应于该基板的两长边设置。
该两组边缘曝光装置共用一个驱动装置,北仑圆弧面曝光显影,该驱动装置上分别对应于该基板的两长边各设有一组边缘曝光机和CXD影像处理器,该驱动装置驱动该两组边缘曝光装置沿相同的方向移动相同位移量。
主体曝光机,用于对基板的主体进行曝光;基板输送机构,用于输送来自该主体曝光机的基板;传送装置,用于将来自该主体曝光机的基板传送至该基板输送机构;及基板导正装置,其设置于该基板输送机构的两侧,用于导正在该基板输送机构上输送的基板,以使该基板的边缘与该边缘曝光装置对齐。
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