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纳米定位台

微纳系统技术是下一代新产品和新技术的基础，其中一个重要的领域是微纳系统装配，其主要面向微米装配、纳米测试和生物研究等应用目前微纳系统的装配迫切需要具有高柔性、能够进行高精度纳米操作的系统装备定位与驱动设备是纳米操作系统中关键组成之一，目前具有纳米级甚至亚纳米级运动精度，又具有毫米级运动行程的跨尺度定位技术已成为纳米操作领域驱待解决的关键技术的尺为微级，因此微纳系统的装配必须辅助于高分辨率成像设备。

纳米定位台概述

纳米定位台采用黏滑原理驱动，即利用物体接触表面间的动静摩擦力实现步进位移。基于黏滑原理的单自由度纳米定位台主要由基座、致动器、导轨和摩擦块 部分组成。致动器随时间缓慢伸长，压电纳米运动机构厂家，导轨与摩擦块间的相对运动速度较小，表面间摩擦力为静摩擦力，摩擦块在静摩擦力的作用下与导轨保持相对静止，共同向右移动;致动器快速收缩，湖北压电纳米运动机构，导轨与摩擦块间的相对运动速度较大，表面间摩擦力为动摩擦力，导轨在致动器的作用下快速回到原位置，而摩擦块由于惯性的作用几乎没有移动。重复以上过程，则摩擦块可以连续地向右移动，而致动器和导轨保持的原位置不变。

纳米定位台

纳米定位台具有移动面，压电纳米运动机构价格，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高的精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。

纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高的性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高的刚性、高的负载、无摩擦等特点。