径向误差补偿方法。在PMD1000设备中,钢材316曝光显影加工定制,显影液是通过安装在腔体上方的喷嘴以扇形喷洒到掩模版上。当掩模版处于低位置时,喷嘴角度被调整到对准掩模版中心。在掩模版旋转过程中,掩模版中心一直处于新鲜显影液覆盖范围,因此掩模版中心位置的显影程度会高于周边位置,从而造成中心CD比周边大。如果径向误差分析显示这种情况,需要通过调整掩模版显影高度来对周边进行补偿。
显影液的组成
显影过程是将感光材料浸泡在显影液中完成的。显影液是由四种主要成份组成:显影剂、促进剂、保护剂和。下面分别加以介绍。
显影剂
从化学的组分来看,显影剂可以分为无机化合物和有机化合物两大类。无机化合物可作为显影剂的并不少,但其中显影性能良好的却不多。以前制版用感光材料以湿片为主时,以草酸亚铁作为显影主剂,钢材316曝光显影加工生产,随着湿片的淘汰,当然现在也就不再使用了。目前,使用的都是有机显影剂。
物理显影法
物理显影法是利用在显影液中所加入的可溶性银盐中的银离子,在显影时被显影剂还原而使潜影不断扩大的显影方法。即形成银影的银离子是靠在显影液中所加入的可溶性银盐提供的。
物理显影其实质仍然是一个化学反应的过程,因为它也是银离子被还原的化学过程,并非是物理过程,只是被还原的银离子不是来自乳剂层中的卤化银晶体本身,而是来自显影液中所加入的可溶性银盐。只是由于物理显影这个名称已经应用习惯了,故仍沿用着。物理显影液中除有显影剂外,瑞安钢材316曝光显影加工,还要加入可溶性盐。可溶性银盐在显影液中产生银离子;当显影液中的银离子与潜影接触后,由于潜影的催化作用,就可以很快的被显影剂还原成金属银。这些金属银沉积到潜影上可使潜影不断增大,后成为可见银影。
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