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三、缺点：1、运动部件多，结构复杂，检修工作量大，维修费用高2、转速受限制3、活塞环的磨损、气缸的磨损、皮带的传动方式使效率下降很快4、噪音大5、控制系统的落后，不适应连锁控制和无人值守的需要，所以尽管活塞机的价格很低，但是也往往不能够被用户接受。
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在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非的、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。
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油环用来刮除气缸壁上多余的机油，并在气缸壁上涂一层均匀的机油膜，这样既可以防止机油窜入气缸燃烧，又可以减小活塞、活塞环与气缸的磨损、减轻摩擦阻力。 [1]
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