




高纯供气系统
1、净化剂则采用了世界的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,纯度可达99.9999%以上;
2、净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀;
3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染,一次安装终身使用,真正做到零泄漏及无故障运行。
4、双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,高纯供气哪家好,一台能顶单式的两台使用。

特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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电子特气管道系统氦检漏方法
特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
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