4:由显影装置30对曝光后的基板S进行显影。
1:对基板S的主体进行曝光;
2:由基板输送机构50将基板S输送至显影装置30 ;
3:由边缘曝光装置20对基板S的边缘进行曝光;
4:由显影装置30对曝光后的基板S进行显影。
其中,铝材6063曝光显影工艺,在步骤I中可利用主体曝光机10对基板S的主体进行曝光。
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曝光显影整装线工艺流程:
技术优势:
1、解决3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷难题;
2、图形转印技术单层精度达到≦0.005mm,多层套印达到≦0.01mm
3、雾化喷涂确保厚度均一性,提高致密性,表面细腻纤薄.稳定性好。
4、曝光技术,提高制程整体良率良率可达95%以上,南海铝材6063曝光显影,(传统的丝印技术是采用的贴膜方式,良率为60%左右)
5,(5.5寸)产能可达30000片/20H/线/单制程;
公开了一种曝光显影设备及曝光显影方法,以解决光阻残留问题,铝材6063曝光显影价格,且提高加工效率、降低生产成本。
本公开的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述,并且部分地将从描述中变得显然,或者可以通过本公开的实践而习得。
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