严格来讲,以时间来计量曝光是不准确的,因为光源强度是随电压改变而波动,随灯的老化而下降的。光能量计算公式为 E=IT式中 E-曝光总能量,mJ/cm平方; J-光的强度,mW/cm平方; T-曝光时间,钢材曝光显影加工生产,s。 从上式可以看出,清河钢材曝光显影加工,曝光总能量E随光强度J和曝光时间T而变化。当曝光时间丁一定,光强度改变,曝光总能量也随之改变。所以尽管严格控制了曝光时间,但实际上干膜在每次曝光时所获得的曝光总能量并不一定相同,因而聚合程度也就不同。为使每次曝光能量相同,必须使用光能量积分仪来计量曝光。
边缘曝光装置,用于对基板的边缘进行曝光;
显影装置,用于对曝光后的基板进行显影,该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处;
其中,该基板在被输送至该显影装置的过程中,被该边缘曝光装置进行边缘曝光。
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