









洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照国家相关标准、规范进行。净化工程的关键是设计,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,净化车间设计,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。
现在国内的相关企业很多,所以净化工程企业之间的竞争也很激烈,因为科技的发展使得市场对净化工程的要求高了起来,从以前的价格竞争变成了现在的价值竞争。所以相关的净化工程企业应该提高自身的自主研发能力,不断的发展创新,才能适应这个竞争激烈的市场。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照国家相关标准、规范进行。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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