










动态功能:一个有效的防尘圈,其唇口相对于活塞杆的接触力必须足够大。有相当高硬度的弹性材料易得到这种效果。硬度达94°的聚胺醋是特别适用于防尘圈的材料。其特性还包括高模量(硬度),的耐磨性及低压缩性。这种材料可以应用在从-40°到100°温度范围的绝大多数应用场合。
静态功能:设计用于封闭式安装沟槽的无增强的单作用防尘圈,很难在沟槽中起到有效的密封作用。这是由于这种防尘圈在沟槽中是松配合安装的。只有密封唇与活塞杆的接触提供防尘圈与圆柱形表面的密封力。温度降低时,整个防尘圈收缩,其外径与沟槽之间的泄漏风险就会出现。要取得满意的效果,这种情况必然在防尘圈的设计中加以补偿。

考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体,让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强,离子能量带宽集中,防水纳米涂层,可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极(往往是钨丝)在反应气体中很快就烧掉了,刀具纳米涂层,另外就是离子流量有极限,对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。

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