









派瑞林真空镀膜(CVD)技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要突破。随着制造业高速发展,真空镀膜技术应用越来越广泛。从PCBA电路板、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看,parylene 耐温,对真空镀膜(CVD)设备、技术、材料需求都在不断增加,包括制造大规模集成电路的防护膜;数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜;充分展示和应用各种光学特性的光学膜;计算机显示用的感光膜;TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜;建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜;包装领域用防护膜、阻隔膜;装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜;工、模具表面上应用的耐磨超硬膜;纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等。

PECVD(Pulse Enhanced Chemical Vaporized Deition,parylene真空涂装,电浆辅助化学气相沉积)工法并配合密闭抽真空设备,所以纳米等级的涂层颗粒可以顺着整机产品的微小缝隙飘进并附着于整机产品内部的大多数角落位置,也因为涂层的缝隙比水分子还小,所以可以起到隔绝湿气对电子产品的影响。另外,由于涂层的厚度大概有5-50nm,弹簧类零件(如连接器)只要经过摩擦就可以轻易的刮除这些涂层,达到电气接触的目的。

派拉纶(Parylene)涂层工艺是使用化学气相沉积(CVD)工艺在真空下沉积的。派拉纶(Parylene)的(CVD)工艺分为三个步骤(升华,热解,沉积)。首先,将二聚体(具有两个重复单元的前体)升华。下一步,在高于> 500°C的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后,parylene 涂层,单体在基材表面(以及腔室表面)上聚合,韶关parylene,形成线性聚合物链。后一步在室温下进行,得到派拉纶(Parylene)保形涂层。通过的真空镀膜机,进行的镀膜加工生产。

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