该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成，在重合室中放置对象物品，电路板镀膜，在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后，升高汽化炉的温度（120~180℃），使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室，通过高温（650~700℃）分解炉后，生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触，其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合，形成高分子量的聚对二树脂膜。
与化学吸附自限制过程不同，顺次反应自限制原子层沉积过程是通过活性前驱体物质与活性基体材料表面化学反应来驱动的。这样得到的沉积薄膜是由于前驱体与基体材料间的化学反应形成的。图a和b分别给出了这两种自限制反应过程的示意图。由图可知，化学吸附自限制过程的是由吸附前驱体1（ML2）与前驱体2（AN2）直接反应生成MA原子层（薄膜构成），主要反应可以以方程式⑴表示。对于顺次反应自限制过程首先是活化剂（AN）活化基体材料表面；然后注入的前驱体1（ML2）在活化的基体材料表面反应形成吸附中间体（AML），这可以用反应方程式⑵表示。反应⑵随着活化剂AN的反应消耗而自动终止，具有自限制性。当沉积反应前驱体2（AN2）注入反应器后，就会与上述的吸附中间体反应并生成沉积原子层。
两者的稀释剂不同，水性三防漆是以水作为稀释剂，而纳米涂层则恰恰不能掺水，需使用原厂的稀释剂，为了保证产品的品质，键盘真空镀膜，TIS-NM纳米涂层在到达用户手中时已经是成品，无需再进行其它加工，派瑞林镀膜，可以直接使用。
在运输方面TIS-NM纳米涂层具有安全运输证书，无VOCs，无氯，不破坏臭氧，具备ROHS、REACH认证，不燃烧，不，无刺鼻异味，储存安全，符合安全生产规定，这些方面某些水性三防漆也基本符合规定，只是纳米涂层的认证更，趋向于更安全的范畴。
固化时间区别比较大，水性三防漆一般是室温下20分钟左右表干，如果60-80度加热，约10分钟左右表干，纳米涂层室温下1-3秒表干，佛山镀膜，无需加热，水性三防漆完成固化时间是室温下20-24小时，加热完全固化需1小时左右，而纳米涂层完全固化时间是室温下1-3分钟，相对纳米涂层的固化时间要快速得多。
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