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在例如硅单晶提拉炉、陶瓷烧结炉、炼钢用真空脱气设备、太阳能电池用硅等离子体熔化装置、多晶硅铸造炉这类设备中，氩气被用作炉内气氛气体等。为了再利用而从这类设备回收的氩气因混入氢、一氧i化碳、二氧化碳、空气等而纯度下降。因此，为了提高所回收的氩气的纯度，实施使杂质被吸附剂吸附的处理。顺德混合气
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在专i利文献I所公开的方法中，将氩气中的氧量调节至比使氢、一氧化i碳等可燃成分完全燃烧所需的化学计量学量仅仅稍少一些，然后，使用使氢与氧的反应优先于一氧化i碳与氧的反应的钯或金作为催化剂，使氩气中的氧与一氧i化碳、氢等进行反应，由此以仅残留一氧i化碳的状态生成二氧化碳和水。接着，在常温下使氩气中所含的二氧化碳和水被吸附剂吸附，之后在-10°C -50°c的温度下使氩气中所含的一氧化i碳和氮被吸附剂吸附。顺德混合气
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至少含有氧、氢、一i氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，其特征在于，判断上述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢及一i氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量，在上述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，然后使用第I催化剂使上述氩气中的一i氧化碳及氢与氧进行反应，以残留氧的状态生成二氧化碳和水，然后添加一氧i化碳以使上述氩气中的一i氧化碳量超过与残留的全部氧进行反应所需的一i氧化碳的设定量，然后通过使用第2催化剂使上述氩气中的氧与一氧i化碳进行反应，以残留一i氧化碳的状态生成二氧化碳，然后使上述氩气中至少一i氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法(日文圧力7 ^ 7吸着法)被吸附剂吸附， 上述第I催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，使用上述钌催化剂时的反应温度在200°C以下。顺德混合气
