派瑞林parylene-parylene-菱威派瑞林镀膜工厂

        首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层C在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（Parylene）涂层微通道。通过控制（Parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，parylene 耐温，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，parylene 防水，抗酸碱性。

人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点，但缺点是需要接触到的基底面。

接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的，并且它们通常不足以非常准确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此，派瑞林parylene，利用该方法必须进行两次测量，一次是在含有涂层的表面上进行测量，parylene，另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值，也即是测量的高度差，就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上，该方法一般在较高处测量涂层的厚度。

随着激光技术的发展，对薄膜的反射率和透射率有了不同的要求，这促进了多层高反射薄膜和宽带抗反射薄膜的发展。对于各种应用，高反射膜用于制造偏振反射膜、分色膜、发光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后，光在膜层上多次反射透射，形成多光束干涉。通过控制薄膜层的折射率和厚度，可以获得不同的强度分布，这就是干涉涂层。

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