










MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。

由于Parylene涂层材料是在真空下沉积而成,派瑞林镀膜,是裂解的分子重新聚合形成的防护材料,属分子级的生长,生成的涂层致密稳定、摩擦系数小,派瑞林涂覆,且随着涂层生长厚度的增加,摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时,派瑞林,摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半,厚度为2μm时的摩擦系数,仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
Parylene 材料有良好的物理和机械性能,其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示,从表中可以看出,其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定,变化范围小,摩擦系数较小。

派瑞林-菱威真空镀膜厂家-派瑞林镀膜由东莞菱威纳米科技有限公司提供。“Parylene派瑞林,真空镀膜,表面处理”选择东莞菱威纳米科技有限公司,公司位于:广东省东莞市长安镇太安路1438号1号楼301室,多年来,菱威纳米坚持为客户提供好的服务,联系人:杜小姐。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。菱威纳米期待成为您的长期合作伙伴!