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目前可以沉积的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金属,碳化物,复合结构,硫化物,纳米薄层等。 中空纳米管,隧道势垒层,光电电池性能的提高,纳米孔道尺寸的控制,高高宽比纳米图形,微机电系统(MEMS)的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层,纳米晶体,ZnSe涂层,纳米结构,中空纳米碗,存储硅点涂层,纳米颗粒的涂层,纳米孔内部的涂层,纳米线的涂层。

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