









由于Parylene涂层材料是在真空下沉积而成,是裂解的分子重新聚合形成的防护材料,属分子级的生长,生成的涂层致密稳定、摩擦系数小,且随着涂层生长厚度的增加,摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时,摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半,厚度为2μm时的摩擦系数,仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
Parylene 材料有良好的物理和机械性能,其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示,从表中可以看出,其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定,变化范围小,摩擦系数较小。

首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层C在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(Parylene)涂层微通道。通过控制(Parylene)涂层沉积的厚度,陆丰派瑞林镀膜,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,气表派瑞林镀膜技术,并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,音响板派瑞林镀膜供应商,具高屏障效果,抗酸碱性。

现代科学技术,派瑞林镀膜防水,特别是航天航空、电子及等科学技术高速发展对材料提出新的要求,尤其是航天航空工业对材料的要求更为苛刻。首先是要求材料性能稳定,同时具有重量轻、耐高温、耐冲刷、抗辐射等综合的优良性能。陶瓷涂层由此应运而生。
陶瓷涂层是在传统的陶瓷材料基础上发展起来的新型复合材料,它即保持了传统陶瓷材料的耐高温、抗磨损、耐腐蚀等优点,同时保持了基体材料的结构强度,由于陶瓷涂层的厚度通常都在1毫米之内,大大地减少了零件的消极重量,其抗热冲击性能优于整体陶瓷。

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