真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，河源真空镀膜，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面，真空镀膜涂料，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
动态功能：一个有效的防尘圈，其唇口相对于活塞杆的接触力必须足够大。有相当高硬度的弹性材料易得到这种效果。硬度达94°的聚胺醋是特别适用于防尘圈的材料。其特性还包括高模量(硬度)，的耐磨性及低压缩性。这种材料可以应用在从-40°到100°温度范围的绝大多数应用场合。
静态功能：设计用于封闭式安装沟槽的无增强的单作用防尘圈，很难在沟槽中起到有效的密封作用。这是由于这种防尘圈在沟槽中是松配合安装的。只有密封唇与活塞杆的接触提供防尘圈与圆柱形表面的密封力。温度降低时，整个防尘圈收缩，其外径与沟槽之间的泄漏风险就会出现。要取得满意的效果，这种情况必然在防尘圈的设计中加以补偿。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层C在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（Parylene）涂层微通道。通过控制（Parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，真空镀膜加工，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。
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