









离子源类型虽多,目的却无非在线清洗,派瑞林涂覆,改善被镀表面能量分布和调制增加反应气体能量。离子源可以大大改善膜与基体的结合强度,同时膜本身的硬度与耐磨耐蚀特性也会改善。若是镀工具耐磨层,一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高,可采用离子电流较大能级也较高的离子源,如霍尔离子源或阳极层离子源。
阳极层离子源,与霍尔离子源原理近似。在一条环形(长方形或圆形)窄缝中施加强磁场,派瑞林涂层,在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长,特别适合镀大工件,派瑞林加工,如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散,且能级分布太宽。一般适用于大型工件,玻璃,磨损,装饰工件。但应用于光学镀膜并不太多。

首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层C在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(Parylene)涂层微通道。通过控制(Parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,河源派瑞林,并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。

针对高湿环境的排风、散热需求,在传统无刷风扇的基础上进行防水性能改良,采用塑封的方式对马达进行高度密封,以此方式制造防水风扇。防水风机的马达密封材料一般采用同芯片封装的环氧树脂材料。针对有些高转速、大功率的防水马达,要求导热性能较高的导热硅胶进行密封。
防水风扇的防水等级分为IP55和IP68两种,IP55防水等级的防水风扇或者防水电机只具有防潮功能。而IP68等级的防水风扇,具有防尘、防水、防酸碱等防护功能。

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