




高纯供气系统
持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统,平时每个供气源为一开一备状态,可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节,能保证仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性,也能保证量值传递不发生变化。
扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点,并安装控制开关或堵头,方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此,高纯供气,可以在不影响其他仪器正常工作的情况下,扩展新的用气端点。

高纯供气系统
集中供气系统需要规划设计一个独立的气瓶室,根据实验室的布局和用气情况在实验室的每层或几层设置一个气瓶室,高纯供气多少钱,也可在实验室外部设计一个为整个实验室供气的气瓶室,钢瓶储存区应合理布置,高纯供气系统,保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。气瓶室墙宜采用实体结构,门应设计为防爆门,安装防爆灯以及防爆风机,万一发生事故可减少实验室区域的破坏性。存放钢瓶屋内不宜吊顶。气瓶室内还应设有气体泄漏、低压换气报警设施,及排风装置,同时设计时还应考虑防雷、防静电、空调设备等设施。为了保证气体纯度和压力的稳定性,需采用多级减压方式供气,宜设置气路吹扫、排空、杂质过滤、水分和油汽净化等装置,有条件的可采用双气源自动切换模式供气。

电子特气管道系统氦检漏检测规定
1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统,高纯供气报价,内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕,应充入高纯氮气,并进行吹扫。测试完毕后,应提交测试报告。
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