考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，parylene 耐温，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。
派拉纶（Parylene）涂层工艺是使用化学气相沉积（CVD）工艺在真空下沉积的。派拉纶（Parylene）的（CVD）工艺分为三个步骤（升华，热解，沉积）。首先，将二聚体（具有两个重复单元的前体）升华。下一步，在高于＞ 500°C的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后，单体在基材表面（以及腔室表面）上聚合，形成线性聚合物链。后一步在室温下进行，parylene 防水，得到派拉纶（Parylene）保形涂层。通过的真空镀膜机，进行的镀膜加工生产。
针对高湿环境的排风、散热需求，parylene真空涂装，在传统无刷风扇的基础上进行防水性能改良，采用塑封的方式对马达进行高度密封，以此方式制造防水风扇。防水风机的马达密封材料一般采用同芯片封装的环氧树脂材料。针对有些高转速、大功率的防水马达，parylene，要求导热性能较高的导热硅胶进行密封。
防水风扇的防水等级分为IP55和IP68两种，IP55防水等级的防水风扇或者防水电机只具有防潮功能。而IP68等级的防水风扇，具有防尘、防水、防酸碱等防护功能。
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