MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，广州parylene，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
由于纳米涂料膜层表面的孔径又远小于水分子，使其无法自然渗入，因此形成了类似于荷叶托住水珠的防水效果，即通常所说的超疏水荷叶效应。
这种防水的功能性涂层能使手机等电子产品表面层具有极强的疏水、憎水、防水效果，物体表面上的水珠犹如在荷叶上一样滚落，类似荷叶效应，parylene 涂层，使附着在物体表面的污垢，尘土随着水珠重力快速滑落，带走玻璃表面的尘土和大部份污垢，不留水痕迹，达到了双重自洁净的效果。
PCBA（印制电路组件）生产过程中经过多个工艺阶段，每个阶段均受到不同程度的污染，parylene工艺，因此电路板（线路板）PCBA表面残留各种沉积物或杂质，锂电池parylene涂层，这些污染物会降低产品性能，甚至造成产品失效。例如在焊接电子元器件过程中使用锡膏、助焊剂等进行辅助焊接，焊后产生残留物，该残留物含有有机酸和离子等，其中有机酸会腐蚀电路板（线路板）PCBA，而电离子的存在可能导致短路，造成产品失效。
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