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电子属于亚原子粒子中的轻子类。轻子被认为是构成物质的基本粒子之一。它带有1/2自旋，即又是一种费米子（按照费米—狄拉克统计）。电子所带电荷为e=-1.6×10-19C（库仑），质量为9.11×10-31kg（0.51MeV/c2），UG数控编程培训，能量为5.11×105eV，通常被表示为e?。
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电子束平版印刷术是一种分辨率小于一毫米的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有，电子束在固体内很快就会散开，很难维持聚焦。后这缺点限制住分辨率不能小于10nm。因此，电子束平版印刷术主要是用来制备少数量特别的集成电路。
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即可得到分辨率为原子尺寸的样本影像。使用蓝色光，普通的光学显微镜的分辨率，UG数控编程培训，因受到衍射限制，大约为200nm；相互比较，UG数控编程培训，电子显微镜的分辨率，则是受到电子的德布罗意波长限制，对于能量为100keV的电子，分辨率大约为0.0037nm。
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