高州派瑞林-菱威真空镀膜工厂-派瑞林薄膜

        首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层C在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，派瑞林加工，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（Parylene）涂层微通道。通过控制（Parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，高州派瑞林，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道，派瑞林薄膜，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。

       钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子，派瑞林绝缘涂层，工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀，因此必须有一个的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。

       Parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度，同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。Parylene如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。

现代科学技术，特别是航天航空、电子及等科学技术高速发展对材料提出新的要求，尤其是航天航空工业对材料的要求更为苛刻。首先是要求材料性能稳定，同时具有重量轻、耐高温、耐冲刷、抗辐射等综合的优良性能。陶瓷涂层由此应运而生。

陶瓷涂层是在传统的陶瓷材料基础上发展起来的新型复合材料，它即保持了传统陶瓷材料的耐高温、抗磨损、耐腐蚀等优点，同时保持了基体材料的结构强度，由于陶瓷涂层的厚度通常都在1毫米之内，大大地减少了零件的消极重量，其抗热冲击性能优于整体陶瓷。

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