










随着激光技术的发展,对薄膜的反射率和透射率有了不同的要求,这促进了多层高反射薄膜和宽带抗反射薄膜的发展。对于各种应用,派瑞林涂覆,高反射膜用于制造偏振反射膜、分色膜、发光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后,光在膜层上多次反射透射,形成多光束干涉。通过控制薄膜层的折射率和厚度,可以获得不同的强度分布,这就是干涉涂层。

采用压力控制器方案,增城派瑞林,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。

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