原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种，化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止，适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。
Parylene涂层也用于硅橡胶键盘。Parylene涂层也用于硅橡胶键盘，防止印刷图案，键盘真空镀膜，抵抗表面磨损，解决粘性问题，同时保护键盘免受污垢，中山镀膜，灰尘和油污。所施加的膜具有高介电强度，微电极镀膜，并且不损害下面的橡胶组分的电绝缘性能。Parylene提供无细孔，防止潮湿，腐蚀性体液，常见气体，抑菌和温度。增加涂层厚度可进一步提高化学耐受性和耐溶剂性，而不会增加重量或实质上影响基板的弹性。此外，聚对二薄膜可以除去硅橡胶的粘性，使硅橡胶表面更润滑，改变硅橡胶按键的手感。由于厚度薄，聚对二薄膜是透明或接近透明的，对按键的外观和尺寸没有影响。
原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，磁性材料镀膜，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层沉积的关键。气相物质在基体材料的表面吸附特征可以看出，任何气相物质在材料表面都可以进行物理吸附，但是要实现在材料表面的化学吸附必须具有一定的活化能，因此能否实现原子层沉积，选择合适的反应前驱体物质是很重要的。
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