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早期的测量仪使用液氮,如果每次使用要消耗的液氮,也十分的不防骗。在电制冷硅漂探测器出现以后,就成为了ROHS检测仪的主流,尽管相对于液氮其灵敏度要低一点,但是并不影响使用。其实上述两种检测仪对轻量元素的检测灵敏度都有一些欠缺。于是后来又推出了新的电制冷测量仪,提高了对轻量金属元素的灵敏度,同时还能测量像硅一类的非金属元素。
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ROHS检测仪常使用大面积的铍窗的电制冷探测器。其探测器的分辨率很高,每项指标都远远的高于国家的标准。由于探测器具有很好的能量线性、良好的能量分辨率、良好的能谱特性。让检测仪在对硅、i铝、锌等轻量元素的测试结果更具有良好的准确性。
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