




高纯供气系统
高纯气体,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气,纯度为4个9即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色,无味,无毒,不燃的气体,是强氧化剂,能助燃,它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触,温度超过油脂燃点时可发生自燃,因此,在与氧气接触的地方,只能使用经过认可的材料。

实验室供气系统气体管路
实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。按照要求,将所用全部气体存放于储气间,并实现集中输送,组成中央供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化,满足分析检测设备对使用气体的技术要求。
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电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,高纯供气厂家,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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