




真空腔体
超高真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和XPS光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、MEMS真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱MOT捕获冷原子的小型超高真空腔体,北京卧式真空腔体加工,由铝合金AlSi10Mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个铷原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与超高真空腔体制造的适用性。
动态泄漏
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,这些动密封结构,很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封(阀杆与阀体之间)的阀门,卧式真空腔体加工品牌,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,卧式真空腔体加工哪家好,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。
对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,在检漏时

真空泵
核聚变装置的10-4Pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得超高真空的泵实现。根据不同功能特点,有3类低温泵安装在ITER装置上。Cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界氦气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足ITER装置的环境条件,包括Edwards和Pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使Edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛,卧式真空腔体加工价格,磁场容限增强型nEXT400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构,导热基板的空气冷却结构,超高真空陶瓷引电和金属密封装置,以及耐辐射密封元件优化等多项新技术,实现了160mT磁场条件下可靠运行。

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