无损检测已不再是仅仅使用X 射线，包括声、电、磁、电磁波、中子、激光等各种物理现象几乎都被用做于了无损检测，譬如：超声检测、涡流检测、磁粉检测、射线检测、渗透检测、目视检测、红外检测、微波检测、泄漏检测、声发射检测、漏磁检测、磁记忆检测、热中子照相检测、激光散斑成像检测、光纤光栅传感技术，等等，而且还在不断地开发和应用新的方法和技术。
微焦点X射线机的主要技术参数有那些？
- 管电压范围：微焦点X射线管的高压工作范围。
- 大管电流：从阴极到阳极的大电流。
- 大功率：微焦点X射线管的大功率。
- 电子束聚焦能力（焦点）：在给定功率下的焦点尺寸，失效分析仪，如：3μm@5W；0.2mm@320W。焦点一般连续可调。
- 细节分辨能力：通常公认的小的细节分辨能力为焦点尺寸的一半。
- 锥束角：在给定窗口直径下的X射线角。如：孔径2mm时，25°。
- 锥束角线均匀度：射线视场强度的均匀性，以百分比表示。
- X射线剂量率稳定性：X射线剂量随时间的变化性，元器件失效分析，以 百分比/小时 表示。
- 小焦距：通常用焦点到X射线管窗口外表面的距离来表示。
- 靶材料：通常有钨，钼，铜以及其它材料。
- 小高压稳定时间：系统在大电压和大功率模式下，失效分析仪器，从开机到稳定运行所需的时间。
- 其它参数：重量，尺寸，电源，及温度湿度要求等。
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