










派瑞林Parylene涂层不仅电性能和防护性能好,而且生物相溶性也好,它已通过美国FDA论证,满足美国药典生物材料VI类标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。
有些具有需小心保护的内部电子元件(植入式或外部),由于这些电子元件体积微小,没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷,一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均等因素的不良影响,因此无法采用传统的防护涂层。Parylene真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐,、 低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性,在国际临床运用的生物的表面涂层上,将逐步取代TiNi(镍钛)合金涂层而被列为材料。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器,磁铁 派瑞林,心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子。

派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜,派瑞林涂覆, 当有流体顺流时,陆丰派瑞林, 派瑞林涂层薄膜抬起, 允许流体通过; 当有流体逆时,派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa, 逆流的制止压力达600 kPa以上, 同时具有较低的反向泄漏, 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量, 产生了较大的变形, 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀, 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的,真空镀派瑞林, 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心, 由于大气压强使子腔压缩到底部, 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力, 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20~40 kPa, 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的泄露现象。

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