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低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，由于新的溶剂(主要是Ag，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度低于500℃时，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。




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