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广州潽拓光电——Shimadz岛津EI-3203MD磁悬浮分子泵控制器维修
基本参数:
品牌:Shimadzu
型号:EI-3203M
加工定制:否
额定电压:200-240(V)
额定电流:10(A)
功耗:1200(W)
外形尺寸:400x196x198(mm)
产品认证:cccc 同参数产品
产品别名:真空分子泵控制器
适用范围:玻璃镀膜
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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,普发pfeiffer分子泵,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
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莱宝真空泵油选择与使用指导
一、真空泵油的作用及性能要求
油封式旋转真空泵的泵油,必须符合相关要求。作为一个运动介质,泵油在真空泵中起着以下作用作用:
1.密封——防止大气进入排气阀,有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子,旋片与转子槽等)
2.润滑——相对运动件间的润滑,降低磨损
3.冷却——油在泵内与油箱间循环,散热,冷却
4.保护——形成保护油膜,避免水及化学蒸汽凝结腐泵内部件。
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行业应用:PCB板业,CCL行业,SMT行业,木工行业,印刷行业,光电机械,化工行业。
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