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手套箱操作步骤

抽真空与充气的放法：

1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空，过渡室则可以单独抽真空。

2、先打开过渡室里面的门，超级电容器生产线厂家，然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。

3、打开手套口之间的三通阀（逆时针旋转），将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体，使得抽气时手套内外（箱体和接口）同时抽真空，保持两边气压平衡。

4、将真空泵接到过渡室一个阀门上，开启真空泵，缓缓打开此阀门，对系统抽气（如打开阀门的速度太快，可能引起手套膨胀）。

5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时，抽真空完成，此时应先关阀门再关真空泵。

6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体，直至气压比大气压（气压表指数为0MPa）略高一点，使箱体内、外的压力基本平衡，且内部略高于外部，可保证大气不会渗入箱体内部（如果您想使箱体内的气体更纯净，将以上抽气和充气过程重复几次）。关掉连接手套接口的三通阀，打开手套接口上的压盖，就可以进行操作了。

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手套箱操作过程中的注意事项

1、手套箱系统工作中真空泵应保持开启状态。

2、当箱内氧气浓度超出200PPM时，应通知设备维修人员进行系统操作，否则会破坏水、氧净化系统。

3、在手套箱启动循环前做检查，是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行，肯定禁止进行循环。

4、两个净化柱不可以同时再生。

A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净(H2O<200ppm)保证足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。

B、手套箱启动再生之前，请先确认相应的净化柱循环已关闭。

C、手套箱再生过程需要24小时，一旦执行不能被断开，再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量，适当调整再生气体的压力，保证再生气在这3小时的充足供应，第6小时后可以关闭再生来源。

D、手套箱再生进程中真空泵不可以关闭，不要触摸净化柱的顶部，以防烫坏。

E、再生一旦意外终止，请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。

5、手套箱作业中应注意保护作业手套不要被损坏。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，江西超级电容器生产线，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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