注射泵产品
1 注射泵 DLSP 520 Pro
2 注射泵LSP02-2B
技术指标LSP02-2B
工作方式 :注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续
通道数量: 2
zui大行程 :140mm
行程分辨率: 0.156um
线速度范围 :5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]
线速度调节分辨率: 5um/min
行程控制精度: 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》
额定线性推力>180N
注*器选择 :内置主要厂家、主要型号注she器供选择
注*器自定文: 可直接输入注she器内径
流量校正: 通过校正程序获得更为jing确的液量
显示参数选择: 液量、流量或线速度
掉电记忆 :重新上电后保持掉电前的参数设置
通信接口: RS495
外形尺寸 :280X250X140(mm)
适用电源 :AC 196V-240V/40W
工作环境温度: 0°C~40°C
工作环境相对湿魔<80%
数显测厚规(千分款)
测量匀胶厚度
量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm
目镜:超大视野目镜 10X/22
无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,10X/0.25,微流控光刻机怎么样,20X/0.4,40X/0.65
转化器:四孔转换器
载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm
焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm
照明系统 :6V20W卤素灯,金华微流控光刻机,亮度可调
滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
SU8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片(确保硅片表面无尘)。
匀胶
1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,打开真空开关,确保硅片固定在托盘上不动;
将SU8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,微流控光刻机性能,光刻胶型号:SU8-2075,1段500转8s,2段1800转30s)
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