前烘
1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)
曝光
1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。
2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)
后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,SU8光刻机,烘烤3min)
六、显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,SU8光刻机优点,此处显影时间20min)
清洗
将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
SU8光刻机多少钱.
SU8光刻机的价格因型号、配置和供应商而异。一般来说,价格在几千到几十万美元之间。一些的SU8光刻机价格可能超过百万美元。需要注意的是,SU8光刻机公司,光刻机的价格不仅仅是机器本身的成本,还包括安装、调试、培训和维护等费用。此外,光刻机的价格还会受到汇率、关税和市场需求等因素的影响。因此,如果您需要了解具体的SU8光刻机价格,建议您联系相关的供应商或销售商进行咨询。
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