采用压力控制器方案，控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力，该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力，从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点，但缺点是需要接触到的基底面。
接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的，并且它们通常不足以非常准确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此，利用该方法必须进行两次测量，真空镀膜手机，一次是在含有涂层的表面上进行测量，另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值，也即是测量的高度差，就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上，真空镀膜加工，该方法一般在较高处测量涂层的厚度。
派瑞林（parylene）材料本身的阻挡特性远优于其它高分子涂层，作为一种阻挡层可有效地防止各种阴阳离子的扩散迁移，中山真空镀膜，从而可靠地保护产品；派瑞林（Parylene）涂层工艺有效阻止了离子在涂层和产品基板界面的扩散，大大减少了常见的涂层内腐蚀。
派瑞林（parylene）材料作为涂层，派瑞林（parylene）超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与人体组织及血液相容等一系列优点，使其在生物医学领域应用广泛， Parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效防止外界的化学品、水分和体液的侵蚀，同时增加了器件表面的干润滑性和绝绿性能。
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