





太阳能电池(solar cells,SC):在SC制造中,一个突出的既矛盾又相互制约的问题是:要求外延层不能太厚,以免光生载流子在到达表面之前复合太多,但又不能太薄,以保证足够的光吸收.目前商业生产的SC发射极厚达250—400μm,是用硅体单晶或多晶硅制成,因而材料的成本就占了很大的比重,为降低成本,在廉价的衬底如硅片、玻璃、陶瓷上液相外延一层10—50μm的高质量的硅薄。

LPE的硅外延层,以其良好的电学、光学及其生长特性,而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前,二手1260液相设备好不好,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件:CVD在硅器件的埋结制造中,内蒙古自治二手1260液相设备,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,密排栅极叉指制造也受到严重影响,而LPE因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1] .

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