真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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惰性气体手套箱分为三种
A）真空手套箱：在操作前，氡室厂家，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。
B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。
C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。
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手套箱手套的安装与维护
初次安装手套箱请先将手套套在手套口上面，然后分别将内外密封圈安装，安装后检查一下，确定密封圈均在凹槽内。
如果在使用过程中发现手套破损，应及时更换，步骤如下：
1.把要替换的手套推倒箱体内；
2.摘除掉外部的O型圈，再移动里面的O型圈致手套口外部槽上；
3.把手套卷到外面的O型圈边，注意不要让手套从手套口上掉下来；
4.尽可能地压缩新的手套，赶出里面的空气；
5.把新的手套安装到手套口上，套在旧手套上；
6.在新手套外部，手套口里面的槽上安装O型圈；
7.如果可以，把新手套放入隔离开的工作气体环境中清洁（这样能大程度去除空气，减少进入手套箱体内的空气量）；
8.从手套箱里面，用另一个手套把旧手套摘到箱体内；
9.在新手套外面，江苏氡室，手套口外部的槽上安装上O型圈；
10.通过过渡舱把旧手套取出，妥善处置。
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