升级了除振性能和各种机构的型钢蜂窝平台空簧式除振装置。
通过明立精机独自开发的平行摆动机构强化水平方向的除振性能。垂直·水平的全方向的微妙的振动也讨厌，回应了以干涉仪和全息为首的光学实验需求。而且，各种机构的性能也进一步提高。是加上钢蜂窝平台的轻量·高刚性的特征的的除振装置。
概要?特点
明立精机的并行摆动机构
例如，内置了明立精机独自的并行摆动机构，弹簧除振台，使2人乘坐的秋千前后和左右都同时移动。由此，水平方向的固有振动相同数实现了以往的1/3以下的0.5Hz。多数的透镜，棱镜，ADZ-A1207弹簧除振台，镜子等用支架和支架固定在平台上进行的光学实验，回应了水平方向的振动有微妙影响的声音。
重视易用性的新机构
除了可变奥菲利斯的空气阻尼机构之外，AYA系列还提供了新材料的α装备了利用GEL的新型减震器。不损害除振性能，平台振动时快速制止的阻尼性能进一步提高，更加容易使用。
冲击吸收、除振优异αGEL
αGEL是一种非固体、液体、气体的特殊交联状态－凝胶状物质。作为主要原料的硅胶与其他凝胶状物质相比，在冲击吸收、除振、隔音方面具有的功能。而且通过改变素材的种类，可以确保对各种各样的振动有效的性能。
TANAKA田中衡器数字平台秤TT-3
TT-3，TT-300，FD-100弹簧除振台，TT-600，TT-1，TT-1.5，TT-2，TTL-600，TTL-1，TTL-1.5，UJK-1.5
数字平台秤 The Sin(高精度)高达 1/6，000 的高分辨率平台秤，带称重传感器类型。是一种简单的铁平台秤，具有多种尺寸。HD-2000C标准指示器具有广泛的可选功能，可用于广泛的用途。
台式主动减振系统
根据在长期的历史和交付实绩中培育了的除振技术被开发了的ME40系列更新为ME系列。紧凑的身体集中6自由度主动除振机构，提供用以前的被动式不能实现的振动环境。近年来，特别是在进步惊人的纳米技术领域，是限度地发挥高精度、高分辨率的精密机器性能的合作伙伴。
概要?特点
6自由度主动控制
经常监视搭载盘及设置面的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。用3维（6自由度）控制。
自动活动调整和自动校平
主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。
轻量装载物也能对应
通过重新审视装置构造，小型SPM等轻量的搭载物也可以使用。
仅电源工作
使用所需的实用程序电源。不需要压缩机等空气源。不选择安装场所、使用环境。
应用程序
扫描探针显微镜（SPM）、聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测量机、激光位移仪系统、其他精密测量及精密加工机。
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